工廠所排放出之VOCS 廢氣進(jìn)入系統(tǒng)后，一階段系經(jīng)過疏水性沸石所組成之轉(zhuǎn)輪，VOCS 污染物質(zhì)首先于轉(zhuǎn)輪上進(jìn)行吸附；階段之脫附程序是由與后端焚化系統(tǒng)熱交換后預(yù)熱之經(jīng)冷卻區(qū)處理后廢氣(約180至220 ℃)，使其通入轉(zhuǎn)輪內(nèi)利用高溫將物脫附下來(lái)，此時(shí)出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右，而脫附下來(lái)之物則可于第三階段進(jìn)行溫度于700℃以上之焚化或進(jìn)行冷凝回收再利用等程序，如此可以減少后續(xù)之廢氣處理單元尺寸、操作經(jīng)費(fèi)及設(shè)備初設(shè)費(fèi)用。

由于廢氣中含有粉塵及粘性物質(zhì)，如果直接進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪吸附系統(tǒng)會(huì)堵塞沸石轉(zhuǎn)輪的空隙，導(dǎo)致吸附效率降低甚至失效，同時(shí)，由于沸石轉(zhuǎn)輪使用壽命比較長(zhǎng)，為了轉(zhuǎn)輪的吸附效果，通常在廢氣進(jìn)入沸石轉(zhuǎn)輪前采用過濾器將粉塵及粘性物質(zhì)去除，過濾器通常采用過濾，：過濾精度G4，級(jí)：過濾精度F6，第：過濾精度F9，廢氣無(wú)粉塵和顆粒等。