經(jīng)過過濾系統(tǒng)處理的廢氣通過收集管道，首入蓄熱室，蓄熱室內(nèi)安裝的板片式陶瓷蓄熱體將貯存的熱能交換給廢氣，使待處理廢氣達到預(yù)熱溫度；經(jīng)預(yù)熱后的廢氣進入氧化室，氧化室內(nèi)安裝燃料（氣）燃燒器，將溫度升高至800℃以上，達到廢氣中各污染物的氧化溫度，使廢氣中的廢氣被氧化分解成CO2和H2O；

由于廢氣中含有粉塵及粘性物質(zhì)，如果直接進入沸石轉(zhuǎn)輪吸附系統(tǒng)會堵塞沸石轉(zhuǎn)輪的空隙，導(dǎo)致吸附效率降低甚至失效，同時，由于沸石轉(zhuǎn)輪使用壽命比較長，為了轉(zhuǎn)輪的吸附效果，通常在廢氣進入沸石轉(zhuǎn)輪前采用過濾器將粉塵及粘性物質(zhì)去除，過濾器通常采用過濾，：過濾精度G4，級：過濾精度F6，第：過濾精度F9，廢氣無粉塵和顆粒等。

工廠所排放出之VOCS 廢氣進入系統(tǒng)后，一階段系經(jīng)過疏水性沸石所組成之轉(zhuǎn)輪，VOCS 污染物質(zhì)首先于轉(zhuǎn)輪上進行吸附；階段之脫附程序是由與后端焚化系統(tǒng)熱交換后預(yù)熱之經(jīng)冷卻區(qū)處理后廢氣(約180至220 ℃)，使其通入轉(zhuǎn)輪內(nèi)利用高溫將物脫附下來，此時出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右，而脫附下來之物則可于第三階段進行溫度于700℃以上之焚化或進行冷凝回收再利用等程序，如此可以減少后續(xù)之廢氣處理單元尺寸、操作經(jīng)費及設(shè)備初設(shè)費用。